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世界各國潔淨度等級比照表

浏览：168次发布时间：2010-8-10

國名	美國	美國	日本	英國	德國
規格	FS 209D	FS 209E	JIS B 9920	BS 5295	VDI 2083
年度	1988	1992	1989	1989	1990
粒子基準	0.5 um	0.5 um	0.1 um	0.5 um	1 um
單位	pcs/ft³	pcs/m³	pcs/m³	pcs/m³	pcs/m³
等級	-	-	1	-	-
	-	M 1	2	-	0
	1	M1.5	3	C	1
	10	M2.5	4	D	2
	100	M3.5	5	E~F	3
	1,000	M4.5	6	G~H	4
	10,000	M5.5	7	I

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